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MEMS 개발 서비스


- MEMS 개발 서비스

Finite Element Method (FEM) 기반 Lab-on-a-Chip 설계

  • Fluid simulation

Single Crystal Silicon 공정 PDMS 몰드 제작

  • Deep Si Etch 공정 이용
  • Stiction 방지 Polymer 증착

Lab-on-a-Chip 제작

  • PDMS, Injection molding, CNC machining 을 이용한 칩 채널 제작
  • Anodic bonding (Si-Glass), UV epoxy bonding 이용

Lab-on-a-chip system 구현

  • Chip interconnection 을 engineering plastic, Peek 재질로 제작
  • Dispensing 용 syringe pump system 구현

Finite Element Method (FEM) 유동 해석

Injection Mold Tooling

Si Wafer 공정 이용한 PDMS 몰드 제작

Chip Interconnection 제작

Lab-on-a-Chip (LOC) 제작

Lab-on-a-Chip System 구현

개발 문의 : 032-212-9957

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