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실린지펌프 액체공급


바이오칩 기반 실린지펌프 액체공급 자동화 시스템

01. Silicon Mold제작 (Photoresist 공정)

  • 다양한 감광제 이용한 1um~200um 두께의 Wafer 몰드 제작
  • 6인치 기본 공정, 4인치 & 8인치 공정 가능
  • 단결정 실린콘 웨이퍼(Single Crystal Wafer), 석영(Quartz), 유리(Glass) 기판 공정
  • 필요 시 단차 측정 결과 제공(Alpastep, 단차측정기)
4inch 공정
4inch 공정
6inch 공정
200um 단차 공정 (2layer)

02. 실린지펌프 액체공급 자동화시스템 맞춤형 설계& 제작

  • PDMS & Plastic Chip & Microscope 관찰용 Fitting 정렬 배관 지그 맞춤 제작
  • 실린지펌프 자동제어용 Window 프로그램 UI 제작후 10.1" Tablet PC 설치
  • RS-485 통신기반 바이오칩 액체공급 실린지펌프시스템 제작
Stroke 30mm, 192K steps, 14sec~8hour,20lbs, RS-232/485/CAN 24VDC/850mA
Stroke 60mm, 384K steps, 28.2sec~16hour, 20lbs, RS-232/485/CAN 24VDC/850mA
 
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